芯明天P18.XY300壓電掃描臺(tái)以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用 于納米光刻實(shí)驗(yàn)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

芯明天P18.XY300壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

• 干涉/計(jì)量 • 表面檢測(cè)

• 半導(dǎo)體測(cè)量 • 光學(xué)計(jì)量

應(yīng)用實(shí)例-納米光刻

在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對(duì)鏡片進(jìn)行高速微納米級(jí)的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。

特性

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：?35mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

1~3維掃描臺(tái)

P18系列壓電掃描臺(tái)包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

       P18系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，可以 實(shí)現(xiàn)大370μm的掃描范圍，運(yùn)動(dòng)直線性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。

       P18采用*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大剛度、大出力、大承 載等特點(diǎn)，大承載達(dá)3.5kg，空載諧振頻率達(dá)600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5ms，是精密加 工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用。

P-18壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)：